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中圖儀器光學表面輪廓檢測儀可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

中圖儀器SuperViewW系列三維光學表面輪廓儀分辨率可達0.1nm，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SuperViewW系列三維輪廓測量儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1系列光學表面輪廓儀采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性，詮釋始終如一的測量品質。

光學輪廓儀是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

以白光干涉掃描技術為基礎的3d輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。

中圖儀器研發生產的光學3d輪廓儀檢測儀對產品進行高品質監控時不需要取下產品或停止生產，而且采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數據的同時，不會對產品造成任何損傷，從而有效節約了生產成本，提高了生產效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

中圖儀器研發生產的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。