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SJ6000工業激光干涉儀的靜態測量軟件可以將線性測量結果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉儀測量設備測量精度高、速度快，穩定性好，配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；應用范圍廣，可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結合軟件系統，也可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析，實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析。

SJ6000國產激光光學干涉儀配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。儀器可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測；結合軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析；可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析。

GTS激光測量跟蹤儀將干涉測長的及時修正速度與絕對測距功能相結合，保證測量精度，并實現擋光恢復。在斷光時會在小范圍內自動搜索到目標球，完成斷光續接，自動鎖定目標球，全過程不需人為操作，提高測量效率。在大尺度空間測量工業科學儀器中具有高精度和重要性，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。

GTS國產激光跟蹤儀檢測儀集激光干涉測距技術、光電檢測技術、精密機械技術、計算機及控制技術、現代數值計算理論于一體，在大尺度空間測量工業科學儀器中具有重要性，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。

SJ6000機床激光干涉儀對機床運動導軌和滾珠絲桿的各項參數檢測分析、校準補償具有重要性，而機床在裝配、加工、生產的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進行多種幾何量精度參數的測量以及動態性能的測試、分析。

SJ6000精密測量激光干涉儀測量過程全自動化，效率高，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。可測量任意方向的回轉軸，可測量任意角度間隔，通用性強；可自動生成誤差曲線和補償數據，根據不同標準自動計算定位精度結果，無需人工計算。

GTS激光測量跟蹤儀能檢測出各部件行走精度，比如機床導軌直線度，轉臺軸向，相互垂直度，徑向跳動等。實際加工過程中可以使用激光跟蹤儀實測被加工零件尺寸，以此做為機床加工進給量的依據，此時激光跟蹤儀由檢測設備轉變為工藝設備，用于制造機床加工。